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PECVD中硅烷的流量怎么确定

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1 | 2011-1-29 10:16:13 | 显示全部楼层 |阅读模式

用MFC的容量乘以你设置的比例即可，如果是实际流量，那么用测试气体流量的流量计

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千问

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论坛元老

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