等离子体辅助化学气相沉积pevcd基片上加负偏压为什么效果不好，磁控设备用都可以。为什么。哪位大侠帮个忙

显示全部楼层 · 2011-1-5 08:43:16

我只加了氩气，辉光就不正常，等离子区向下，不加偏压，基片接地才能正常起辉。什么原因

千问 · 2011-1-5 08:43:16

你放电装置出现的问题在于：采用了DC放电，需要电流回路。DC放电的高压电极为负压，当基片加置负偏压时，DC电源（用于放电那个）不同通过基片分支放电，由此出现你所说的不能起辉。你这种放电方式可以实现所谓的不等位辉光放电（太原工学院，徐重教授专利），实际上是变形的空心阴极放电，可以实现高放电电流工作。你目前没有获得这种有益效应，可以如下尝试：（1）先启动DC放电并保持偏压电源输出（偏压电源是否对地输出？）为零，达到放电最高功率后，再开启偏压电源；（2）控制装置地，用绝缘物覆盖靠近电极附近的金属腔体，使放电回路向下延伸；（3）提高偏压电源输出电压、功率，电压绝对值低于DC放电电压，二者形成不等位的空心阴极放电。