IT产业中比光刻机更贵一些的单体设备有哪些？

显示全部楼层 · 2010-6-26 11:49:14

INTEL 22nm光刻工艺设备的供应商 ASML提供的光刻机为“NXT:1950i”，每台平均售价4000万欧元(5440万美元)，负责40％的前道(FEOL)光刻层；尼康的光刻机则是“S620D”，报价3000万美元，负责60％的后道(BEOL)光刻层。

千问 · 2010-6-26 11:49:14

这个不好说，光刻机也是有便宜有贵的，那种二手的nikon的G线1型机，或者老式的佳能价格一般可能20万都不到，但是像阿斯迈尔或者nikon的14型连体作业机价格会贵上好几倍，那些大束流中束流注入机也不便宜，好一些电子显微镜都很贵的，飞利浦的XL系列那种大腔体的电子显微镜要上百万，不是一般工艺线上的那种测线宽的设备，而是多用途的那种，一般用于失效性分析跟切片的。光刻在整条工艺线中成本最高并不是因为光刻机，而是光刻胶，那玩意儿成本差不多一滴一块钱，几批产品走下来钱就炸舌了，绝对不是像腐蚀几瓶酸几瓶氨水，注薄几块靶那么省事的。