制氮机组在多晶硅中什么工序上使用

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3 | 2010-9-3 13:20:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

晶体炉里氮气保护,而且要求纯度比较高

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千问 | 2010-9-3 13:20:34 | 显示全部楼层

保护气氛。

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千问 | 2010-9-3 13:20:34 | 显示全部楼层

一般99.99%的氮气纯度就OK，有疑问发我邮箱[email protected],吴生

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千问

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