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mems加速度传感器和传统的加速度传感器制作工艺上有什么不同

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查看11 | 回复1 | 2010-10-29 10:34:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
我想知道的是mems加速度传感器的内部结构，比如传统的压阻式的里面是通过质量块的运动引起电阻的变化来测加速的，那么mems是怎么回事，他好像是个小芯片，里面应该没有质量块吧？

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千问 | 2010-10-29 10:34:04 | 显示全部楼层
体积小，成本低，可靠性好，功耗低，易于数字化和智能化，测量范围大，随着技术的进步，新原理、新结构、新材料、新工艺将不断涌现，利一微机械惯性仪表的发展前景一片光明
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