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等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状

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1 | 2011-4-26 08:39:15 | 显示全部楼层 |阅读模式

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千问 | 2011-4-26 08:39:15 | 显示全部楼层

标题：图4铱涂层的化学气相沉积装置示意图 Fig.4 Schematic diagram of CVD apparatus for iridium coat-ings篇名：化学气相沉积技术与材料制备说明：80年代中期以来美国国家航空与宇宙航天局(NASA)采用金属有机化合物化学气相沉积法(MOCVD)成功制备出铼基铱涂层复合喷管[14~19],化学气相矫JFD2001

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