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真空镀膜机细抽时压力回声是什么原因

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5 | 2011-4-29 21:17:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

写错了，是压力反弹

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千问 | 2011-4-29 21:17:34 | 显示全部楼层

是回表吗？应该是扩散泵里面的那个顶上的帽子下面四周间隙不对称吧！

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千问 | 2011-4-29 21:17:34 | 显示全部楼层

你说的不完善是什么样的回声呢

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千问 | 2011-4-29 21:17:34 | 显示全部楼层

可能是扩散泵出现问题，也可能是前级泵的工作力下降了，导致无法排尽气体

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千问 | 2011-4-29 21:17:34 | 显示全部楼层

镀膜机坏了- -

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千问 | 2011-4-29 21:17:34 | 显示全部楼层

那是罗茨泵加速抽的声音

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