合金或化合物靶溅射时,会产生选择溅射,会造成什么影响,如何消除

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查看11 | 回复3 | 2012-1-14 05:23:58 | 显示全部楼层 |阅读模式
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千问 | 2012-1-14 05:23:58 | 显示全部楼层
你先要描述一下选择溅射的状况,因为机器不通所产生的效果也不同赞同
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千问 | 2012-1-14 05:23:58 | 显示全部楼层
不同材料不同现象,根据靶材成分和镀膜层成分测试,大多材料的选择现象不是太明显。选择溅射造成的影响是膜层成分不断发生变化,相应表现出颜色和性能的改变。要想消除,必须明确材料成分和镀膜工艺参数,不同设备也会有轻微差别,具体需要调节试验。赞同
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千问 | 2012-1-14 05:23:58 | 显示全部楼层
我也想问这问题,我们要考试的这个。赞同
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