求助：我想请问关于SiH4的问题

显示全部楼层 · 2013-10-11 06:44:21

SIH4 MFC FLOW VERIFY 需要在常温2小时+CHAMBER PUMP TO BASE PRESSURE+腔体体积固定的情况下做出来的数据会比较准确，前提是你MFC ZERO POINT是正确的，要不就需要在做原点矫正只周才能做FLOW VERIFY。一般这样的情况下做3次取平均就好了，之后通过电脑或者UI将FACTOR或者MFC SIZE进行调整一般误差会在+-1%之间，之后在做3次进行验证，主要是SIH4 FLOW是KEY PROCESS PARAMETER所以要准确

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

三楼对MFC讲得真详细,你是搞MFC产品的嘛?

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

前面几次都会不准，后面使用几次就准确了吗？要用万用表确定实际流量的电压值进行校正，是否准确？

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

一般每次测出来的值都会有点变化。只要在正常范围里，就可以了。一般都是5%左右。因为校准的时候，厂家是用N2气校准的。机台的Manuel上有具体对应的值。

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

SiH4 MFC calibration 要在室温状况下做，高温会分解，不准，如果连续几次都不一样的话，这个MFC可能有问题。

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千问 · 2013-10-11 06:44:21

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