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光刻工艺中针孔现象是怎么发生的？如何避免？请哪位高手帮忙解释一下，谢谢啦

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2 | 2009-4-24 00:36:31 | 显示全部楼层 |阅读模式

是说在曝光过程中在硅片表面的光刻胶上产生的效应么？可能名称不一样吧，我个人觉得是由于光的干涉产生的，可以通过调整光刻胶的厚度来调整。...

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千问 | 2009-4-24 00:36:31 | 显示全部楼层

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