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谁知道磁控溅射镀膜时通氩气和氧气的作用各是什么啊?还 ...
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谁知道磁控溅射镀膜时通氩气和氧气的作用各是什么啊?还有就是对这方面比较懂的加我!QQ:930115629
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2011-10-17 07:22:10
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具体的原理请查看“磁控溅射”的原理,大概的情况是这样的,氩气是磁控溅射能够产生辉光的工作气体,磁控溅射想工作必须得通入氩气的,而氧气是工艺气体,比如你想镀SiO2,那么你要使用Si靶,然后通入氩气,这时候溅射出来的是Si,而你同时通入氧气的话,那么所镀膜层就变为SIO2了,因为SI离子和氧离子反映,生产SiO2或者SiO了。当然如果你使用Ti靶,同样的道理,你通入氩气是为了能够产生辉光,这样Ti离子能够溅射出来,所镀膜层为纯金属Ti,通入氩气的同时如果你再通入氮气,那么形成的膜层就是TiN。Ar气为工作气体,气体反应气体(如O2气,N2气等)是工艺气体。...
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千问
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2011-10-17 07:22:10
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氩气是惰性气体,经过阴极发射的电子轰击后电离出用于轰击出阴极靶材原子的离子。通入氧气,是用于和靶材原子或者分子进行反应。磁控溅射仪种类比较,分为直流溅射和射频交流溅射还有反应溅射,你问的好像是反应溅射。...
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千问
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2011-10-17 07:22:10
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氩气的作用:被撞击后产生Ar离子,在负高压的作用下,撞击靶材,根据动量定理而激发出靶材的原子。氧气的作用:增加透过率,氧气越多,透过率越大......
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千问
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2011-10-17 07:22:10
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通入氧气就变成氧化物了,氧化物可以做成半透非导电镀膜 产品.工艺接近光学镀膜...
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