半导体制造，DNS清洗机是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思

显示全部楼层 · 2011-10-18 11:29:22

DNS是厂商名字，中文叫迪恩士，就是化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF,,H2SO4,H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，去离子,去原子，最后还有DI清洗。IPA是异丙醇，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。...

千问 · 2011-10-18 11:29:22

DNS是厂商名字，中文叫迪恩士,12寸里它为主流设备，其主要主要有HF,,H2SO4,H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，去离子,去原子，最后还有DI清洗。IPA是异丙醇，用于干燥，其干燥槽叫做LPD,为其专利，全名为LOW PRESSURE DRY,低压干燥...