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在工艺验证中，如何确定关键工艺参数的范围？

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2 | 2011-10-29 22:11:05 | 显示全部楼层 |阅读模式

确定工艺参数的范围当然要进行试验了！先从特特定值到最小值进行试验看是否符合要求，确定最小值范围；再从特特定值到最大值进行试验看是否符合要求，确定最大值范围；最后最大值和最小值就是你要的范围！...

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千问 | 2011-10-29 22:11:05 | 显示全部楼层

关键工艺参数范围是在设备PQ阶段完成的。...

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千问

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