8台深紫外固态激光源装备有什么用

显示全部楼层 · 2016-5-29 23:17:09

陈创天：这一光源已经发现了很多重要的应用，并已经有了成功的范例。1）真空紫外激光超高能量分辨率光电子能谱仪：借助这台激光光电子能谱仪的超高分辨率，我们能够更仔细地了解固体的特性，这将大大促进人们对固体材料中各种奇异电子特性的了解。2）推动193nm光刻技术的发展：193nm光刻技术是目前大规模集成电路制造业中的主流技术，在这一技术中，要求有两种光源：一种是照明光源，一种是高精度母版制作所需的相干光源。目前由于没有适合的全固态激光光源，因此多数使用电子束光刻技术，但效率低，成本高。如果能够获得100mW的193nm的全固态窄带宽相干光源，将有可能取代电子束用于集成电路母版制作。3）化学动力学研究：深紫外全固态激光...

千问 · 2016-5-29 23:17:09

深紫外全固态激光源指输出波长在200纳米以下深紫外频段的固体激光器，深紫外频段激光与同步辐射和气体放电光源等现有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。所以应用前景极为广阔。...

千问 · 2016-5-29 23:17:09

是世界前沿的材料基础科研设备，应用于材料学。。此外还不是这么简单，要想想军事航空航天上的材料。。。意义远不止如此...