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磁控溅射圆柱靶材，靶材的壁厚对镀膜有影响吗？

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11 |

0 | 2009-7-29 21:50:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

壁厚，磁场稍弱放电电压要高些，但是几个毫米的差别不大。氩气是工作气体不参与反应，镀出来是金属本色，就是银色。加氮气镀出来是仿金色。

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