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PECVD辉光放电频率为什么是13.56MHz

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1 | 2011-11-24 12:50:49 | 显示全部楼层 |阅读模式

有电流的，因为辉光放电都是由于气体在磁场的作用下，气体分子中的电子从低能有,但是电流很小当然有了，没有电流哪来的光？能量不可能凭空产生。...

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