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第一问答网»论坛 › 中问网 › 问答 › 单晶硅为什么需要退火~

单晶硅为什么需要退火~

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2 | 2012-4-20 10:23:38 | 显示全部楼层 |阅读模式

在450℃左右，硅中的氧会转化为氧施主，对电阻率的正确测量带来影响。使P型单晶硅电阻率升高，甚至反型；使N型单晶硅电阻率降低。在700℃左右退火处理，可以使氧施主回到间隙氧状态，消除氧施主对电阻率测试的影响。...

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千问 | 2012-4-20 10:23:38 | 显示全部楼层

消除氧施主。...

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