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多晶硅片各点间电阻率差异大，这是什么原因呢？

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2 | 2012-4-23 22:21:55 | 显示全部楼层 |阅读模式

从原理上讲，多晶硅片各点间电阻率有差异是正常的。既然是多晶硅，说明其中有许多晶粒和晶界。由于晶粒的大小不统一，所以在不同的测量点范围内，包含的晶粒和晶界数量是不同的。又由于晶界的电阻率大于晶粒的电阻率，所以导致了“多晶硅片各点间电阻率差异大”。...

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千问 | 2012-4-23 22:21:55 | 显示全部楼层

和参杂的浓度也有关系...

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千问

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