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磁控溅射,镀AlSn20的靶电流1.5和1.9有什么不同 ...
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磁控溅射,镀AlSn20的靶电流1.5和1.9有什么不同
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2013-4-25 10:13:17
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铝靶电流为1.5 A时,轴承合金磁控溅射AlSn20镀层使合金的电化学阻抗提高5~6个数量级,可将镀层的自腐蚀电位提高到-1.12 V,改善轴承合金的耐蚀性.铝靶电流是影响AlSn20镀层耐蚀性的一个重要因素,铝靶电流越小,其耐蚀性越好....
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