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多晶硅是怎么形成的

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1 | 2009-8-28 15:01:14 | 显示全部楼层 |阅读模式

多晶硅的生产是利用CVD（化学气相沉积）的方法。在还原炉内，用高纯的氢气还原高纯的三氯氢硅，得到产品，多晶硅。不过还有很多副产物，这些副产物大部分又CDI工段再次回收利用。

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千问 | 2009-8-28 15:01:14 | 显示全部楼层

三氯氢硅与氢气反应，还原出多晶硅

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千问

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