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请问一般从那几个方面提高mems惯性器件的精度

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查看11 | 回复3 | 2009-6-16 06:58:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
品质因数Q值灵敏度带宽驱动幅值敏感模态等等
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千问 | 2009-6-16 06:58:17 | 显示全部楼层
一如人道有合法甘道夫计划让他也同意和我玩参考资料：百度

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千问 | 2009-6-16 06:58:17 | 显示全部楼层
还真有点难度
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千问 | 2009-6-16 06:58:17 | 显示全部楼层
我认为首先要针对具体器件在已知条件下的漂移、灵敏度、噪声等方面进行测量，根据得到的数据可以从软件上进行一定程度的校正。
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