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紫外光负胶的显影液和清洗液的成分是什么

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0 | 2007-10-19 18:30:41 | 显示全部楼层 |阅读模式

半导体工艺——光刻紫外负性光刻胶显影液：二甲苯。清洗液：乙酸丁脂或乙醇、三氯乙烯。显影中的常见问题：a、显影不完全（Incomplete Development）。表面还残留有光刻胶。由显影液不足造成。b、显影不够（Under Development）。显影的侧壁不垂直。由显影时间不足造成。c、过度显影（Over Development）。靠近表面的光刻胶被显影液过度溶解，形成台阶。由显影时间太长造成。

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