超声波清洗机能清洗硅片吗?

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查看11 | 回复5 | 2021-2-25 18:18:52 | 显示全部楼层 |阅读模式
可以的。随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺目前世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,使制片技术取得明显进展。最新尖端技术的导入,使SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此,硅片生产厂家也增加了对300mm硅片的设备投资,针对设计规则的进一步微细化。利用超声波清洗技术,在清洗过程中超声波频率在合理的范围内往复扫动,带动清洗液形成细微回流,使工件污垢在被超声剥离的同时迅...
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千问 | 2021-2-25 18:18:52 | 显示全部楼层
可以,不过据说是用1MHz的频率的清洗机。不是普通的低频100K以下频率的清洗机。...
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千问 | 2021-2-25 18:18:52 | 显示全部楼层
额,硅片现在都是用全自动超声波清洗机清洗的啊...
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千问 | 2021-2-25 18:18:52 | 显示全部楼层
1、硅片晶圆超声波清洗机能清洗硅片。2、硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合。3、硅片的清洗在半导体制作过程中十分重要,而磨片的清洗是所有清洗工序中最困难的。由于使用了硅片超声...
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千问 | 2021-2-25 18:18:52 | 显示全部楼层
当然可以,而且超声是非常重要的...
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