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直拉法生长单晶硅影响收尾的因素有哪些？

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1 | 2012-10-22 19:36:02 | 显示全部楼层 |阅读模式

正常收尾时温度、拉速，出现结晶时转速和氩气流量影响也很大！...

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千问

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论坛元老

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